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直拉式长晶炉回收+虹口螺杆真空泵回收每台多少钱

发布:2024/5/7 11:12:05 来源:shxj365
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展原理单晶炉通用炉盖椭圆封头接管形状为柱体,其展是将顶面分成许多小的线段,每段线段和相邻2根素线以及相贯线段组成一个四边形,求得这个四边形各边边长,可展此四边形,这样逐一展所有四边形即为椭圆接管的展图。技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图,图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为护盘,12为氩气输 入管,11为分布有孔11-1的环形气体分布器,13为排气口。名称:直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大,另外,现有技术中,从氩气输入管向炉内充入氩气时, 充气气压为1. 3x 103pa,氩气流量为40L/min,因此其氩气消耗量大,生产 成本较高。

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以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。数值模拟是当实验的费用太昂贵或无法常规进行时一种非常有用或必不可少的方法。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具。完整的和细节的结晶过程数值是用来获得廉价的用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以结果设定合理的理论拉晶曲线,可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶棒。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,单晶硅片由此进入生产流程:1、酸洗:使用稀HNO3,进行清洗,去除表面杂质及时产生的四硅。2、清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。3、单晶硅料烘干:去除水分。4、挑料:区分P型,N型硅料。5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。6、单晶炉拉晶:7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。8、断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9、包装:将断后的单晶硅棒进行包装,送下一道工序10、磨圆:将单晶硅棒四个直角 日本的PV800,MDM442DM设备进行切割0.33mm。12、清洗:13、单晶硅片检测:单晶炉的结构单晶炉炉体(包括板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢。

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